如何在掃描電鏡中實現(xiàn)多點自動掃描?
日期:2024-10-24
在掃描電子顯微鏡(SEM)中實現(xiàn)多點自動掃描通常涉及以下幾個步驟:
軟件設置:
確保您的SEM配備了支持自動掃描功能的軟件。許多現(xiàn)代SEM系統(tǒng)都有自動化控制軟件。
樣品準備:
將樣品固定在樣品臺上,并確保樣品的多個感興趣區(qū)域可以在掃描范圍內(nèi)。
設置掃描點:
使用顯微鏡軟件選擇多個掃描點。您可以手動指定每個點的坐標,或者使用圖像處理工具自動識別感興趣區(qū)域。
參數(shù)配置:
為每個掃描點設置掃描參數(shù),如加速電壓、束流強度、掃描速度、放大倍率等。
執(zhí)行掃描:
啟動自動掃描功能,顯微鏡將按照設定的順序依次掃描每個點,并記錄數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)分析:
完成掃描后,使用數(shù)據(jù)處理軟件分析獲取的圖像和數(shù)據(jù)。
結(jié)果整合:
將各個掃描點的結(jié)果整合到一個綜合圖像中,以便進行比較和分析。
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作者:澤攸科技