掃描電鏡的樣品臺傾斜角度如何調(diào)整?
日期:2024-11-04
在掃描電鏡(SEM)中,調(diào)整樣品臺的傾斜角度可以幫助優(yōu)化圖像的對比度、觀察表面結(jié)構(gòu)的細節(jié),以及獲得立體感和更好的斷層視角。樣品臺的傾斜角度通常可以在控制面板中手動或自動調(diào)整,以適應不同的成像需求。以下是具體的調(diào)整方法和注意事項:
1. 樣品臺傾斜控制
手動控制:部分 SEM 配有物理按鈕或旋鈕,可以直接手動調(diào)整樣品臺的傾斜角度。通常在顯微鏡的控制面板或樣品艙附近。
軟件控制:許多現(xiàn)代 SEM 通過軟件控制樣品臺傾斜。在操作軟件的用戶界面中,可以找到傾斜控制選項,輸入所需的角度(例如 0° 到 90°)并執(zhí)行調(diào)整。
2. 常見傾斜角度應用
0°(水平):適用于一般成像和樣品表面特征分析。水平放置可以減少視角失真,使得表面觀測效果更好。
15° – 45°:傾斜角度的設置能增強表面結(jié)構(gòu)的立體感,尤其適合于觀察樣品的縱深或厚度。例如,顆粒表面觀察或?qū)訝顦悠返某上瘛?/span>
>45°:高角度傾斜用于觀察橫截面或接近垂直的結(jié)構(gòu),適合斷層成像和立體觀察。
3. 調(diào)整步驟
定位樣品:將樣品放置在樣品臺上,確保牢固固定。
選擇初始傾斜角度:在 SEM 軟件中或使用手動控制將樣品臺傾斜至所需初始角度(如 0°)。
實時觀察調(diào)整效果:在 SEM 界面上觀察實時圖像,慢慢增加或減小傾斜角度,調(diào)整至所需的觀察效果。
4. 傾斜角度對成像效果的影響
電子束入射角度:樣品臺傾斜會改變電子束入射角度,從而影響樣品的電子發(fā)射效率和圖像對比度。
表面電荷累積:對非導電材料,傾斜角度可能影響電荷分布,導致樣品不同區(qū)域的電荷累積變化。合理的角度可以減小充電效應。
景深變化:傾斜角度增加會帶來一定的景深變化,適當?shù)膬A斜可使樣品的不同層面同時成像清晰。
5. 注意事項
避免樣品與物鏡碰撞:樣品臺傾斜時要特別小心與物鏡或探頭之間的距離,以免傾斜角度過大導致碰撞。
校準和重新聚焦:傾斜樣品后,需重新對焦和校準以獲得清晰的圖像。
樣品穩(wěn)定性:確保樣品牢固固定,以避免傾斜過程中樣品移動或振動影響成像質(zhì)量。
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作者:澤攸科技