樣品需要根據(jù)掃描電子顯微鏡（SEM）的物理空間和操作要求進行處理，具體尺寸取決于 SEM 樣品腔室和樣品臺的規(guī)格。以下是處理樣品尺寸時的一些通用注意事項：

1. 樣品的物理尺寸

最大直徑/尺寸：

SEM 的樣品臺通常有直徑和高度限制，具體取決于設備型號：小型臺式 SEM：樣品直徑通常不超過 10–50 mm。

大型場發(fā)射 SEM：樣品直徑可達 100–200 mm，但較少用滿這個尺寸。

高度限制：樣品高度通常限制在 10–20 mm 內，過高會導致樣品無法轉動或調節(jié)工作距離。

如何確定尺寸？

查看設備的規(guī)格文檔，查找 樣品室尺寸、樣品臺負載限制和最大樣品尺寸。

通常會提到 工作距離（Working Distance，WD） 的調節(jié)范圍，需要保證樣品不會碰到電子槍或其他部件。

2. 樣品的表面平整度

表面要求：樣品的表面盡量保持平整，這樣可以避免因傾斜導致的圖像失真。

如果樣品較大，可以切割或打磨成小塊。

3. 樣品安裝方式

樣品通常需要固定在 樣品托盤 或 樣品夾 上，因此樣品尺寸應與托盤匹配。常見樣品托盤的規(guī)格：圓形托盤：直徑通常為 25 mm 或 32 mm。

多孔樣品臺：可以固定多個直徑較?。ㄈ?10 mm）的樣品。

定制夾具：對于不規(guī)則或薄片樣品，可以使用導電膠、銅箔或夾具固定。

4. 樣品的制備工藝

根據(jù) SEM 對樣品的要求，處理樣品時還需要考慮以下問題：

厚度：

樣品厚度應盡量小以減少信號吸收，通常控制在 5–10 mm 以下。對于薄片樣品，厚度可以在 1 mm 左右。

切割和拋光：

使用切割工具（如金剛石鋸片）切割樣品，使其達到所需尺寸。對于材料科學樣品，可以進行機械拋光或電解拋光。

5. 樣品的特殊尺寸需求

傾斜觀察時的調整：

如果需要傾斜觀察（如 70° 角用于 EBSD 分析），樣品的尺寸應考慮到傾斜后不會碰到設備的頂部或側壁。

橫截面觀察：

如果需要觀察樣品的橫截面，可以提前制備橫截面小塊或通過斷裂/切割得到。

6. 特殊樣品的處理

粉末樣品：使用導電膠固定在樣品臺上，形成薄層。

生物樣品：通常需要脫水、固定和金屬鍍膜（如 Au 或 Pt 鍍膜），處理后尺寸控制在標準樣品臺范圍內。

非導電樣品：可能需要導電涂層處理，涂層厚度通常在 5–20 nm，不顯著改變樣品尺寸。

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