掃描電鏡的電子束對(duì)樣品有損傷嗎?
日期:2025-02-06
掃描電鏡(SEM)的電子束可能對(duì)樣品造成損傷,具體影響如下:
熱損傷
電子束的能量會(huì)使樣品局部升溫,可能導(dǎo)致熱敏感材料熔化或分解。
電荷積累
非導(dǎo)電樣品可能積累電荷,產(chǎn)生靜電效應(yīng),影響成像質(zhì)量,甚至損壞樣品。
輻射損傷
高能電子束可能破壞化學(xué)鍵,導(dǎo)致聚合物等材料的結(jié)構(gòu)變化或分解。
質(zhì)量損失
電子束轟擊可能使樣品表面原子或分子脫離,造成質(zhì)量損失,尤其是對(duì)有機(jī)或生物樣品。
結(jié)構(gòu)變化
電子束可能導(dǎo)致晶體結(jié)構(gòu)改變或相變,影響材料性質(zhì)。
減輕措施
降低加速電壓:減少電子束能量。
減小束流:降低束流密度。
使用冷卻裝置:減少熱損傷。
樣品涂層:對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行導(dǎo)電涂層處理。
電子束可能對(duì)樣品造成熱損傷、電荷積累、輻射損傷、質(zhì)量損失和結(jié)構(gòu)變化,但可通過調(diào)整參數(shù)和采取防護(hù)措施減輕這些影響。
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作者:澤攸科技